在芯片前段蚀刻、薄膜沉积工序中，高纯供气系统的稳定性至关重要。压力波动以及微量泄漏问题，均会带来晶圆损耗，不利于稳定维持产线良品水平。

长期聚焦超高纯（UHP）供气测量方案的雅斯科，针对半导体洁净工况打造HPX28超高纯袖珍压力表、ZT61超高纯数显压力变送器两套成熟监测设备，可分别解决狭小管路安装、自动化高精度数据采集需求，稳定服务各类晶圆制造工艺。

HPX28 超高纯袖珍压力表

半导体气柜、气体模组管线排布密集，安装空间有限，雅斯科HPX28采用28mm小尺寸表盘，适配紧凑设备安装场景，机身小巧同时具备多项可靠性能。

• 高洁净配置：接液部件采用电解抛光316L不锈钢，膜片表面粗糙度＜0.5μm Ra，能有效减少气体吸附与颗粒物析出，满足Class 100/ISO Class 5洁净室使用标准，适配高端芯片产线洁净管控要求。
• 氦检工艺：每台雅斯科HPX28超高纯袖珍压力表出厂前均通过氦气密封性检测，泄漏率低至 1×10^⁻⁸ atm cc/s。针对易燃、有毒特种工艺气体，从结构层面减少泄漏隐患，保障车间人员与设备运行安全。
• 通用标准化接口：搭载9/16-18UNF 公/母旋转式过程接头，兼容行业通用VCR^®接头，适配多样化管路设计，无需大幅改造即可快速完成装配。

ZT61数显压力变送器

针对需要本地读数、远程自控的产线工况，雅斯科ZT61超高纯数显变送器适配性出众。其配备 1.125 C-Seal或W-Seal平面密封接口，可配套 IGS 设备、高纯气面板、VMB 阀门汇流箱配套部署。

• 多档精度可选：雅斯科ZT61 数显压力变送器综合测量精度（含线性、迟滞、重复性误差）提供 ±0.5%、±0.75%、±1.0% 满量程三档规格，可结合制程精度要求灵活选型，合理规划设备投入成本。
• 宽温工作区间+可旋转大屏：雅斯科ZT61 数显压力变送器工作温度区间覆盖-10℃~50℃，适配多数半导体车间工况；搭载可270°旋转高亮LED显示屏，仪表横装、竖装、倒置安装均可调整至合适观测角度，现场读取数据清晰直观。
• 符合行业通用洁净密封规范：整机满足SEMI F19/F20 半导体高纯材料规范，氦检泄漏率低至5×10^⁻¹²Pa・m^³/s；出厂在Class 1超净室完成三层独立密封包装，拆封后可直接装配至核心UHP气路，简化现场装配流程。
• 支持多类型信号输出：支持4-20mA、1-5V、0-10V标准模拟量输出，配备NPN/PNP开关量输出，便于对接 PLC 上位控制系统，实现压力数据远程采集、高低压自动连锁保护，适配气柜、VMB阀组一体化集成项目。

稳定、洁净、适配产线自动化，是半导体高纯仪表的核心使用诉求。雅斯科HPX28压力表与雅斯科ZT61数显压力变送器形成的互补配套方案，覆盖各类超高纯气路监测工况。

依托长期行业应用积累，雅斯科可根据产线空间布局、精度要求提供匹配的压力测量配套支持。